晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式E5AN-R3HBT-W-N指導(dǎo)手冊。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ONE5AN-R3HBT-W-N
導(dǎo)線長：2m。放大器分離接近傳感器可簡單設(shè)定高精度的靈敏度。
可根據(jù)用途選擇傳感器探頭種類，傳感器前置放大器-放大 器之間采用耐彎曲電纜。
不易受環(huán)境溫度影響，溫度特性為0.08%/°C （φ5.4型）E5AN-R3HBT-W-N指導(dǎo)手冊。
可簡單、確實檢測設(shè)定微米級精度（示教功能）。
可確認檢測余量（數(shù)字顯示）。
高精度的定位、支持甄別檢查、變化量最大化“FP （Fine Positioning）功能”。
也備有適用于EtherCAT傳感器通信單元/CompoNet通信單元的E2C-EDA0型號。種類：可插拔式。
尺寸：48×96mmE5AN-R3HBT-W-N指導(dǎo)手冊。
控制輸出1：繼電器輸出。
控制輸出2：繼電器輸出。
輔助輸出：2點。
通信：--。
加熱器斷線：1點。
事件輸入：2點。
電源電壓：AC100～240V。
使用大字體PV顯示(白色)，提高可視性。
選型、設(shè)定及操作更為簡捷多組輸入/輸出，
功能齊全性能更強、功能更完善應(yīng)用更范圍更為廣泛歐姆龍E5AN-R3HBT-W-N手冊。
E5EC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為18mm，
而E5AC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為25mm改進了可視性。
主體短小，厚度僅為60mm。
50ms高速采樣周期。
新型位置比例控制型號使您還可以控制閥門。尺寸：48×96mm。
本體：端子臺型，溫度輸入型歐姆龍E5AN-R3HBT-W-N手冊。
種類：控制輸出1點型（電源AC100～240V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：繼電器輸出。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻。
輔助輸出點數(shù)：3點。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能/ES1B用電源：單相加熱器用檢測功能歐姆龍E5AN-R3HBT-W-N手冊。
事件輸入點數(shù)：--。
傳送輸出：--。
通信：RS-485。
96mm、48×96mm見方的通用溫控器已升級＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預(yù)防維護功能，性能進一步提升。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控器的狀態(tài)

（自動/手動、RUN/STOP、報警發(fā)生），可交互顯示PV/SSVE5AN-R3HBT-W-N指導(dǎo)手冊E5AN-R3HBT-W-N。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計數(shù)功能，可預(yù)防維護溫控器內(nèi)部繼電器。
增加了3段顯示，可同時顯示易于理解的當(dāng)前值/目標(biāo)值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動/手動、RUN/STOP等，可實現(xiàn)一鍵操作。